An all-nickel magnetostatic MEMS scanner

  1. Weber, N.
  2. Zappe, H.
  3. Seifert, A.
Revista:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Año de publicación: 2012

Volumen: 22

Número: 12

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/0960-1317/22/12/125008 GOOGLE SCHOLAR

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