An all-nickel magnetostatic MEMS scanner

  1. Weber, N.
  2. Zappe, H.
  3. Seifert, A.
Aldizkaria:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Argitalpen urtea: 2012

Alea: 22

Zenbakia: 12

Mota: Artikulua

DOI: 10.1088/0960-1317/22/12/125008 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus