Atomic layer deposition of iridium thin films and their application in gold electrodeposition

  1. Szeghalmi, A.
  2. Arnold, M.
  3. Berger, A.
  4. Schammelt, N.
  5. Fuechsel, K.
  6. Knez, M.
  7. Kley, E.B.
  8. Zahn, D.R.T.
  9. Tuennermann, A.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819487940

Año de publicación: 2011

Volumen: 8168

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.896818 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus