Diffusion phenomena in atomic layer deposition

  1. Knez, M.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Año de publicación: 2012

Volumen: 27

Número: 7

Tipo: Artículo

DOI: 10.1088/0268-1242/27/7/074001 GOOGLE SCHOLAR
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