Diffusion phenomena in atomic layer deposition

  1. Knez, M.
Aldizkaria:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Argitalpen urtea: 2012

Alea: 27

Zenbakia: 7

Mota: Artikulua

DOI: 10.1088/0268-1242/27/7/074001 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus