A Novel Fabrication Technique for MEMS Based on Agglomeration of Powder by ALD

  1. Lisec, T.
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Revista:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Año de publicación: 2017

Volumen: 26

Número: 5

Páginas: 1093-1098

Tipo: Artículo

DOI: 10.1109/JMEMS.2017.2708814 GOOGLE SCHOLAR

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