A Novel Fabrication Technique for MEMS Based on Agglomeration of Powder by ALD

  1. Lisec, T.
  2. Reimer, T.
  3. Knez, M.
  4. Chemnitz, S.
  5. Schulz-Walsemann, A.V.
  6. Kulkarni, A.
Aldizkaria:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Argitalpen urtea: 2017

Alea: 26

Zenbakia: 5

Orrialdeak: 1093-1098

Mota: Artikulua

DOI: 10.1109/JMEMS.2017.2708814 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus