Molecular layer deposition of hybrid siloxane thin films by ring opening of cyclic trisiloxane (V3D3) and azasilane

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Revista:
Chemical Communications

ISSN: 1364-548X,  1359-7345

Año de publicación: 2020

Volumen: 56

Número: 62

Páginas: 8778-8781

Tipo: Artículo

DOI: 10.1039/D0CC04195E GOOGLE SCHOLAR
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