Molecular layer deposition of hybrid siloxane thin films by ring opening of cyclic trisiloxane (V3D3) and azasilane

  1. Ashurbekova, K.
  2. Ashurbekova, K.
  3. Saric, I.
  4. Modin, E.
  5. Petravić, M.
  6. Abdulagatov, I.
  7. Abdulagatov, A.
  8. Knez, M.
Aldizkaria:
Chemical Communications

ISSN: 1364-548X,  1359-7345

Argitalpen urtea: 2020

Alea: 56

Zenbakia: 62

Orrialdeak: 8778-8781

Mota: Artikulua

DOI: 10.1039/D0CC04195E GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus