Radical-triggered cross-linking for molecular layer deposition of SiAlCOH hybrid thin films

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Revista:
Chemical Communications

ISSN: 1364-548X,  1359-7345

Año de publicación: 2021

Volumen: 57

Número: 17

Páginas: 2160-2163

Tipo: Artículo

DOI: 10.1039/D0CC07858A GOOGLE SCHOLAR
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