Radical-triggered cross-linking for molecular layer deposition of SiAlCOH hybrid thin films

  1. Ashurbekova, K.
  2. Ashurbekova, K.
  3. Saric, I.
  4. Modin, E.
  5. Petravic, M.
  6. Abdulagatov, I.
  7. Abdulagatov, A.
  8. Knez, M.
Aldizkaria:
Chemical Communications

ISSN: 1364-548X,  1359-7345

Argitalpen urtea: 2021

Alea: 57

Zenbakia: 17

Orrialdeak: 2160-2163

Mota: Artikulua

DOI: 10.1039/D0CC07858A GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus