Ultrathin Hybrid SiAlCOH Dielectric Films through Ring-Opening Molecular Layer Deposition of Cyclic Tetrasiloxane

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Revista:
Chemistry of Materials

ISSN: 1520-5002,  0897-4756

Año de publicación: 2021

Volumen: 33

Número: 3

Páginas: 1022-1030

Tipo: Artículo

DOI: 10.1021/ACS.CHEMMATER.0C04408 GOOGLE SCHOLAR
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