Ultrathin Hybrid SiAlCOH Dielectric Films through Ring-Opening Molecular Layer Deposition of Cyclic Tetrasiloxane

  1. Ashurbekova, K.
  2. Ashurbekova, K.
  3. Saric, I.
  4. Gobbi, M.
  5. Modin, E.
  6. Chuvilin, A.
  7. Petravic, M.
  8. Abdulagatov, I.
  9. Knez, M.
Aldizkaria:
Chemistry of Materials

ISSN: 1520-5002,  0897-4756

Argitalpen urtea: 2021

Alea: 33

Zenbakia: 3

Orrialdeak: 1022-1030

Mota: Artikulua

DOI: 10.1021/ACS.CHEMMATER.0C04408 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus