Investigations of the adhesion of maleic anhydride/cyclic olefin alternating copolymers to silicon substrates: Improved materials for 193 NM lithography

  1. Pasquale, A.J.
  2. Long, T.E.
  3. Truong, H.
  4. Allen, R.D.
Revista:
Journal of Adhesion

ISSN: 0021-8464

Año de publicación: 2002

Volumen: 78

Número: 1

Páginas: 1-13

Tipo: Artículo

DOI: 10.1080/00218460210378 GOOGLE SCHOLAR
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