CD SEM calibration to TEM for accurate metrology of FINs in MuGFET devices

  1. Lorusso, G.F.
  2. Collaert, N.
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  15. Prochazka, J.
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Actas:
IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings

ISSN: 1523-553X

Año de publicación: 2005

Páginas: 169-172

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/ISSM.2005.1513326 GOOGLE SCHOLAR
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