Fabrication of PZT actuated cantilevers on silicon-on-insulator wafers for a RF microswitch

  1. Jiang, H.W.
  2. Kirby, P.
  3. Zhang, Q.
Actes de conférence:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Année de publication: 2003

Volumen: 4979

Pages: 165-173

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1117/12.478245 GOOGLE SCHOLAR
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