Fabrication of PZT actuated cantilevers on silicon-on-insulator wafers for a RF microswitch
- Jiang, H.W.
- Kirby, P.
- Zhang, Q.
ISSN: 0277-786X
Año de publicación: 2003
Volumen: 4979
Páginas: 165-173
Tipo: Aportación congreso
ISSN: 0277-786X
Año de publicación: 2003
Volumen: 4979
Páginas: 165-173
Tipo: Aportación congreso