Fabrication of PZT actuated cantilevers on silicon-on-insulator wafers for a RF microswitch

  1. Jiang, H.W.
  2. Kirby, P.
  3. Zhang, Q.
Konferenzberichte:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Datum der Publikation: 2003

Ausgabe: 4979

Seiten: 165-173

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1117/12.478245 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus