Fabrication of PZT actuated cantilevers on silicon-on-insulator wafers for a RF microswitch

  1. Jiang, H.W.
  2. Kirby, P.
  3. Zhang, Q.
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Any de publicació: 2003

Volum: 4979

Pàgines: 165-173

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1117/12.478245 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus