Fabrication of PZT actuated cantilevers on silicon-on-insulator wafers for a RF microswitch

  1. Jiang, H.W.
  2. Kirby, P.
  3. Zhang, Q.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Año de publicación: 2003

Volumen: 4979

Páginas: 165-173

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.478245 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus