Direct patterning of photosensitive chemical solution deposition PZT layers

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Revista:
Journal of the European Ceramic Society

ISSN: 0955-2219

Año de publicación: 2004

Volumen: 24

Número: 6

Páginas: 1925-1928

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0955-2219(03)00543-0 GOOGLE SCHOLAR