Sol-gel fabrication of PZT thick films for MEMS
- Corkovic, S.
- Whatmore, R.W.
- Zhang, Q.
ISSN: 1058-4587, 1607-8489
Año de publicación: 2007
Volumen: 88
Número: 1
Páginas: 93-102
Tipo: Aportación congreso
Revista:
Integrated Ferroelectrics