Sol-gel fabrication of PZT thick films for MEMS
- Corkovic, S.
- Whatmore, R.W.
- Zhang, Q.
ISSN: 1058-4587, 1607-8489
Argitalpen urtea: 2007
Alea: 88
Zenbakia: 1
Orrialdeak: 93-102
Mota: Biltzar ekarpena
Aldizkaria:
Integrated Ferroelectrics