Evgenii
Modin
Specialist
Marco
Gobbi
Publicaciones en las que colabora con Marco Gobbi (1)
2021
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Ultrathin Hybrid SiAlCOH Dielectric Films through Ring-Opening Molecular Layer Deposition of Cyclic Tetrasiloxane
Chemistry of Materials, Vol. 33, Núm. 3, pp. 1022-1030