A fully integrated thermo-pneumatic tunable microlens

  1. Zhang, W.
  2. Aljasem, K.
  3. Zappe, H.
  4. Seifert, A.
Actes de conférence:
2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010

ISBN: 9781424489251

Année de publication: 2010

Pages: 87-88

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1109/OMEMS.2010.5672170 GOOGLE SCHOLAR

Objectifs de Développement Durable

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