A fully integrated thermo-pneumatic tunable microlens

  1. Zhang, W.
  2. Aljasem, K.
  3. Zappe, H.
  4. Seifert, A.
Aktak:
2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010

ISBN: 9781424489251

Argitalpen urtea: 2010

Orrialdeak: 87-88

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1109/OMEMS.2010.5672170 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus