A fully integrated thermo-pneumatic tunable microlens

  1. Zhang, W.
  2. Aljasem, K.
  3. Zappe, H.
  4. Seifert, A.
Actes:
2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, Optical MEMS and Nanophotonics 2010

ISBN: 9781424489251

Any de publicació: 2010

Pàgines: 87-88

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1109/OMEMS.2010.5672170 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible