An all-nickel magnetostatic MEMS scanner
- Weber, N.
- Zappe, H.
- Seifert, A.
ISSN: 0960-1317, 1361-6439
Datum der Publikation: 2012
Ausgabe: 22
Nummer: 12
Art: Artikel
Zeitschrift:
Journal of Micromechanics and Microengineering
