An all-nickel magnetostatic MEMS scanner

  1. Weber, N.
  2. Zappe, H.
  3. Seifert, A.
Revista:
Journal of Micromechanics and Microengineering

ISSN: 0960-1317,  1361-6439

Any de publicació: 2012

Volum: 22

Número: 12

Tipus: Article

DOI: 10.1088/0960-1317/22/12/125008 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus