New liquid precursors for the metal-organic CVD of gold films

  1. Parkhomenko, R.G.
  2. Turgambaeva, A.E.
  3. Morozova, N.B.
  4. Trubin, S.V.
  5. Krisyuk, V.V.
  6. Igumenov, I.K.
Aldizkaria:
Chemical Vapor Deposition

ISSN: 0948-1907,  1521-3862

Argitalpen urtea: 2013

Alea: 19

Zenbakia: 1-3

Orrialdeak: 38-44

Mota: Artikulua

DOI: 10.1002/CVDE.201207022 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus