Flexible replication technique for high-aspect-ratio nanostructures
- Szeghalmi, A.
- Sklarek, K.
- Helgert, M.
- Brunner, R.
- Erfurth, W.
- Gosele, U.
- Knez, M.
ISSN: 1613-6810, 1613-6829
Año de publicación: 2010
Volumen: 6
Número: 23
Páginas: 2701-2707
Tipo: Artículo