Progress and future directions for atomic layer deposition and ALD-based chemistry

  1. Parsons, G.N.
  2. George, S.M.
  3. Knez, M.
Revue:
MRS Bulletin

ISSN: 0883-7694

Année de publication: 2011

Volumen: 36

Número: 11

Pages: 865-871

Type: Article

DOI: 10.1557/MRS.2011.238 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccès ouvert editor

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