Progress and future directions for atomic layer deposition and ALD-based chemistry

  1. Parsons, G.N.
  2. George, S.M.
  3. Knez, M.
Aldizkaria:
MRS Bulletin

ISSN: 0883-7694

Argitalpen urtea: 2011

Alea: 36

Zenbakia: 11

Orrialdeak: 865-871

Mota: Artikulua

DOI: 10.1557/MRS.2011.238 GOOGLE SCHOLAR lock_openSarbide irekia editor

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus