Progress and future directions for atomic layer deposition and ALD-based chemistry

  1. Parsons, G.N.
  2. George, S.M.
  3. Knez, M.
Zeitschrift:
MRS Bulletin

ISSN: 0883-7694

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 36

Nummer: 11

Seiten: 865-871

Art: Artikel

DOI: 10.1557/MRS.2011.238 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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