Progress and future directions for atomic layer deposition and ALD-based chemistry

  1. Parsons, G.N.
  2. George, S.M.
  3. Knez, M.
Revista:
MRS Bulletin

ISSN: 0883-7694

Any de publicació: 2011

Volum: 36

Número: 11

Pàgines: 865-871

Tipus: Article

DOI: 10.1557/MRS.2011.238 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus