Atomic layer deposition of metal fluorides through oxide chemistry

  1. Putkonen, M.
  2. Szeghalmi, A.
  3. Pippel, E.
  4. Knez, M.
Zeitschrift:
Journal of Materials Chemistry

ISSN: 1364-5501,  0959-9428

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 21

Nummer: 38

Seiten: 14461-14465

Art: Artikel

DOI: 10.1039/C1JM11825K GOOGLE SCHOLAR

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