Atomic layer deposition of metal fluorides through oxide chemistry
- Putkonen, M.
- Szeghalmi, A.
- Pippel, E.
- Knez, M.
ISSN: 1364-5501, 0959-9428
Any de publicació: 2011
Volum: 21
Número: 38
Pàgines: 14461-14465
Tipus: Article
Revista:
Journal of Materials Chemistry
