Atomic layer deposition of iridium thin films and their application in gold electrodeposition

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Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819487940

Ano de publicación: 2011

Volume: 8168

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1117/12.896818 GOOGLE SCHOLAR

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