Atomic layer deposition of iridium thin films and their application in gold electrodeposition

  1. Szeghalmi, A.
  2. Arnold, M.
  3. Berger, A.
  4. Schammelt, N.
  5. Fuechsel, K.
  6. Knez, M.
  7. Kley, E.B.
  8. Zahn, D.R.T.
  9. Tuennermann, A.
Actes de conférence:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819487940

Année de publication: 2011

Volumen: 8168

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1117/12.896818 GOOGLE SCHOLAR

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