Atomic layer deposition of iridium thin films and their application in gold electrodeposition

  1. Szeghalmi, A.
  2. Arnold, M.
  3. Berger, A.
  4. Schammelt, N.
  5. Fuechsel, K.
  6. Knez, M.
  7. Kley, E.B.
  8. Zahn, D.R.T.
  9. Tuennermann, A.
Konferenzberichte:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819487940

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 8168

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1117/12.896818 GOOGLE SCHOLAR

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