Atomic layer deposition of iridium thin films and their application in gold electrodeposition

  1. Szeghalmi, A.
  2. Arnold, M.
  3. Berger, A.
  4. Schammelt, N.
  5. Fuechsel, K.
  6. Knez, M.
  7. Kley, E.B.
  8. Zahn, D.R.T.
  9. Tuennermann, A.
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819487940

Any de publicació: 2011

Volum: 8168

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1117/12.896818 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible

Font de les dades: Scopus