Multilayer Fresnel zone plate for soft X-ray microscopy resolves sub-39nm structures
- Mayer, M.
- Grévent, C.
- Szeghalmi, A.
- Knez, M.
- Weigand, M.
- Rehbein, S.
- Schneider, G.
- Baretzky, B.
- Schütz, G.
ISSN: 0304-3991, 1879-2723
Año de publicación: 2011
Volumen: 111
Número: 12
Páginas: 1706-1711
Tipo: Artículo