Diffusion phenomena in atomic layer deposition

  1. Knez, M.
Zeitschrift:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 27

Nummer: 7

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0268-1242/27/7/074001 GOOGLE SCHOLAR
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