Diffusion phenomena in atomic layer deposition

  1. Knez, M.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Any de publicació: 2012

Volum: 27

Número: 7

Tipus: Article

DOI: 10.1088/0268-1242/27/7/074001 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus