Tuning of optical properties by atomic layer deposition

  1. Qin, Y.
  2. Vogelgesang, R.
  3. Eßlinger, M.
  4. Knez, M.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819493828

Año de publicación: 2013

Volumen: 8613

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.2003613 GOOGLE SCHOLAR
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