Multilayer Fresnel zone plates for high energy radiation resolve 21 nm features at 1.2 keV
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- Sanli, U.T.
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- Weigand, M.
- Szeghalmi, A.
- Knez, M.
- Salditt, T.
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ISSN: 1094-4087
Año de publicación: 2014
Volumen: 22
Número: 15
Páginas: 18440-18453
Tipo: Artículo