A Novel Fabrication Technique for MEMS Based on Agglomeration of Powder by ALD

  1. Lisec, T.
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  3. Knez, M.
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  6. Kulkarni, A.
Zeitschrift:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Datum der Publikation: 2017

Ausgabe: 26

Nummer: 5

Seiten: 1093-1098

Art: Artikel

DOI: 10.1109/JMEMS.2017.2708814 GOOGLE SCHOLAR

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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