Molecular layer deposition of hybrid siloxane thin films by ring opening of cyclic trisiloxane (V3D3) and azasilane

  1. Ashurbekova, K.
  2. Ashurbekova, K.
  3. Saric, I.
  4. Modin, E.
  5. Petravić, M.
  6. Abdulagatov, I.
  7. Abdulagatov, A.
  8. Knez, M.
Revista:
Chemical Communications

ISSN: 1364-548X,  1359-7345

Ano de publicación: 2020

Volume: 56

Número: 62

Páxinas: 8778-8781

Tipo: Artigo

DOI: 10.1039/D0CC04195E GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus