Molecular layer deposition of hybrid siloxane thin films by ring opening of cyclic trisiloxane (V3D3) and azasilane

  1. Ashurbekova, K.
  2. Ashurbekova, K.
  3. Saric, I.
  4. Modin, E.
  5. Petravić, M.
  6. Abdulagatov, I.
  7. Abdulagatov, A.
  8. Knez, M.
Revista:
Chemical Communications

ISSN: 1364-548X,  1359-7345

Any de publicació: 2020

Volum: 56

Número: 62

Pàgines: 8778-8781

Tipus: Article

DOI: 10.1039/D0CC04195E GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus