Radical-triggered cross-linking for molecular layer deposition of SiAlCOH hybrid thin films

  1. Ashurbekova, K.
  2. Ashurbekova, K.
  3. Saric, I.
  4. Modin, E.
  5. Petravic, M.
  6. Abdulagatov, I.
  7. Abdulagatov, A.
  8. Knez, M.
Revista:
Chemical Communications

ISSN: 1364-548X,  1359-7345

Ano de publicación: 2021

Volume: 57

Número: 17

Páxinas: 2160-2163

Tipo: Artigo

DOI: 10.1039/D0CC07858A GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus